在今年的SEMICONChina2025展会上，国产半导体设备获得了市场高度关注。
其中，国内ALD设备龙头微导纳米（SH.688147）在会上发布了四款薄膜新产品及先进封装薄膜解决方案，标志着国产薄膜沉积设备在关键技术领域的又一次突破。
据悉，公司此次发布的产品覆盖ALD（原子层沉积）、CVD（化学气相沉积）两大技术路线，产品适配逻辑芯片、存储芯片和先进封装的复杂结构和产量需求，进一步丰富了微导纳米在半导体集成电路领域的产品线。
微导纳米的主营业务包括光伏设备和半导体设备，近年来其半导体业务涨势迅猛。2024年上半年，公司半导体设备收入1.52亿元，同比增长812.94%，占营业收入的19.34%。半导体新增订单比重也在逐年增加。2024年1~9月，半导体新增订单占比为30.50%，2023年为11.94%。
当下，半导体行业已经走出低谷，复苏态势明显，加之半导体国产化的需求，市场对上游设备的需求猛涨。国产设备厂商正通过技术差异化和产品平台化战略，重构全球半导体市场话语权。
微导纳米是国内ALD设备的第一梯队，目前在半导体和光伏领域齐头并进。公司如何看待国产半导体设备市场的发展？其对半导体和光伏业务如何定位？公司在提升设备国产化率方面做了哪些努力？近日，21世纪经济报道记者对话微导纳米CTO黎微明，试图了解上述问题。
黎微明。资料图
“多驾马车”并行
《21世纪》：公司2024年半年报显示，两大业务板块之一的半导体设备，收入同比增长达到812.94%，这种增长是什么原因？预计2025年该业务发展趋势如何？
黎微明：微导半导体业务实现跨越式增长，主要受益于两大因素。首先，从行业层面来看，中国半导体产业正迎来历史性发展机遇，一方面，在国家政策支持下，国内晶圆厂扩产步伐加快，直接带动了半导体设备需求的显著增长。另一方面，随着芯片制造工艺的日益精密化，对薄膜沉积设备的工艺性能提出了更为严苛的技术要求，这为具备技术实力的国产设备商创造了巨大的市场空间。
其次，从微导自身来看，持续的技术创新是我们实现增长的关键所在。我们的ALD（原子层沉积）设备在关键指标上已达到国际先进水平，CVD（化学气相沉积）在特定工艺环节实现了技术超越，这些高技术门槛的核心设备，在自主创新浪潮的推动下，成为推动微导半导体业绩增长的重要引擎。
2025年，我认为半导体设备仍将保持强劲的增长态势，主要基于三个方面的考量：一是国内半导体产业向更先进技术节点发展的趋势更加明确；二是设备国产化率将持续深化；最后，工艺节点的持续演进将催生更多新兴设备需求，微导已经做好了充分的准备，通过加大研发投入、完善产品矩阵、深化客户合作等举措，确保在未来市场竞争中持续保持领先优势。
《21世纪》：微导纳米同时覆盖光伏、半导体等领域。从光伏拓展到半导体设备，技术共性是什么，难点在哪？
黎微明：微导在成立时，对自己最初的定位其实是一家半导体装备公司。但在2015年、2016年的时候，国产化半导体装备基本没有任何机会，所以我们才从光伏设备开始。
二者有技术共通性，以公司核心的原子层沉积技术为例，在工作原理上半导体和光伏是一样的。微导先在光伏设备上有所突破，就是把半导体的技术用规模化应用在光伏上，这是前所未有的。当前，光伏设备技术有了突飞猛进的迭代，我认为原子层沉积技术起到了很大作用。
但这两个毕竟是不同的行业，虽然技术原理是一样的，但对精度、产品的要求差别很大。在光伏上要做到低成本，是要做到别人做不到的产能。而在半导体上，对产品的精确度、颗粒、工艺的要求非常强，这是所有的半导体装备厂家进行技术创新的关键。
《21世纪》：公司的一个关键指标正在变化，即2024年前三季度，微导60%以上的研发经费投向半导体领域，是否意味着业务发展向半导体设备业务倾斜？对光伏业务和半导体业务如何定位？
黎微明：微导一直贯彻“多驾马车”的发展策略。我们的核心技术之一是原子层沉积，这是一项具有广泛应用前景的共性关键技术，不仅仅在半导体领域，微导还是首家把它规模化用在了光伏设备上的企业，未来，这项技术在新能源、储能、燃料电池等领域都具有产业化潜力。
半导体是国家重要的战略产业，半导体设备也是公司最重要的业务板块。但我们不会单一聚焦半导体集成电路领域，而是会持续拓展多元化应用场景，保持“多赛道协同发展”的战略格局。
光伏技术路线多元化发展
《21世纪》：光伏板块当前的订单情况如何？
黎微明：从当前的订单结构来看，我们注意到两个显著趋势：第一，存量产能的技术改造需求快速增长，反映出行业技术迭代正在加速；第二，除TOPCon外，其他技术路线的量产规模正在逐步扩大。而微导已经实现多技术路线布局，比如在BC电池（背接触电池）领域已获得多个订单，并逐步进入批量交付阶段。
就行业整体而言，光伏在过去的一两年内，确实经历了产能结构性过剩的调整期。这一轮调整正在推动行业良性出清，部分缺乏技术优势的产能正在有序退出，而具备技术领先优势的企业市场集中度在持续提升。另外，包括微导在内，整个行业都在积极推进新一代技术，基于光伏发电的长期需求增长和技术进步带来的成本下降，我们对行业的中长期发展保持乐观的预期。
《21世纪》：光伏行业未来主要面临哪些挑战？
黎微明：光伏未来的发展并不是某一个技术的发展，我认为生产方式是关键。目前我们在很多关键的电池技术都有布局，但我不认为哪一个会是终极的电池技术，我倒希望各类的电池技术都可以在市场上有一席之地。
反而生产方式更重要。例如现有的异质结电池技术的生产方式，是一条龙的生产方式，但这种方式不利于技术的迭代更新，我更提倡分站式的生产方式。比如从传统PERC（发射极和背面钝化电池）到TOPCon到BC电池，我认为分站式的生产方式更有技术优势的，因为它可以不断地在生产线引入一些新技术，提升电池的效率和性能。所以微导在BC电池、异质结电池、钙钛矿电池都有进一步的研发和部署。目前来看，发展速度比较快的是BC电池、钙钛矿电池，以及钙钛矿的叠层电池。
半导体国产化必须创新
《21世纪》：半导体设备国产化一直是热门话题，我国现阶段半导体专用设备国产化的进展如何？与国外有哪些差距？
黎微明：国产化进程用一个词来说，就是突飞猛进，但在关键领域与国外领先水平相比，持续的追跑阶段还是必要的。追跑阶段是什么意思？是指基本上能实施一部分跟国外比肩的产品，就有机会争取一席之地；但持续的创新更需要企业的实力。微导要做的，是必须有自己的技术实力和创新，只有不断创新才能满足客户需要。现在客户已经逐渐不满足去复制国外下游的竞品，我们和客户的讨论也是围绕新的技术发展、新的工艺和应用。未来在这个市场，谁的研发能力强，谁就会有最终胜出的可能性，会继续是一个大浪淘沙的过程。
《21世纪》：日前公司可转债方案获受理，请谈谈最新进展。
黎微明：本次可转债发行是公司战略发展的重要一步，微导前期的募投已按照计划投入光伏制造扩产、半导体设备研发及产线建设，目前资金使用进度符合预期。为进一步加快产品升级、扩大市场份额，微导决定启动新一轮融资，发行可转债。
此次募资将继续聚焦半导体设备的国产化突破，以响应下游客户持续增长的产能需求。按照当前半导体行业的发展速度，未来两三年还是需要高强度的投入。
目前可转债审核流程正在积极推进中，公司将根据监管要求及时披露后续进展。
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